先进制程与量产良率控制
J9协同体系
贯通芯片物理设计(EDA)、微纳工艺建模(TCAD)、计算机集成制造(CIM/MES)及全晶圆良率诊断的大规模工业软件底座。针对 7nm-28nm 工艺节点与先进封装场景,提供微秒级工业总线吞吐与高精度数值仿真求解,加速从流片设计到晶圆产线高良率量产的全流程闭环验证。
半导体制造与设计交付面临的深层工艺瓶颈
微电子制程不断向物理极限演进,EDA 点工具脱节、产线数据异构与缺陷溯源周期漫长,导致晶圆流片试错成本急剧增加,迫切需要底层工业软件构建统一协同基座。
光刻与物理设计验证耗时漫长
先进制程掩模版图数据量激增至数十 TB,传统几何计算与光刻邻近效应修正(OPC)耗时数周,算力扩展遭遇严重内存墙限制。
设备机台协议异构与数据孤岛
刻蚀、薄膜沉积与光刻机台协议繁杂,产线 CIM 系统响应延迟高,海量传感器时序数据难以实时上报与协同调度。
微纳缺陷成因关联与回溯滞后
在线检测点与离线电性测试(WAT)数据脱节,关键工艺漂移引起的系统性缺陷往往在流片终测阶段才暴露,造成整批晶圆报废。
跨工艺节点模型标定迁移成本高
工艺从 28nm 跃迁至更小尺度时,微观物理效应呈现高度非线性,TCAD 仿真工具缺乏与产线实时量测反馈标定的自动闭环链条。
Design-to-Manufacturing 全链条工业软件架构
构筑物理设计验证层、工艺仿真计算层与晶圆制造执行层的三维联通框架,完全符合 SEMI E10/E30 与 GDSII/OASIS 国际工业规范。
EDA 版图验证与计算光刻核心(Design & DRC/LVS)
原生支持超大规模集成电路版图分块并行解析,针对数十亿晶体管提供纳秒级几何关系索引,实现高精度设计规则检查(DRC)与光学校正计算。
TCAD 微纳多物理场耦合仿真系统(Process TCAD)
精细化模拟离子注入、热退火扩散、等离子刻蚀与薄膜淀积微观形貌演变,精准预估器件阈值电压偏移与寄生电阻电容特性。
半导体 CIM/MES 毫秒级智能调度与缺陷工程平台
接入产线百级光刻与刻蚀设备,基于 SECS/GEM 协议实现秒级动态派工,结合晶圆缺陷图谱(Wafer Map)实现根因快速溯源。
高精微纳制造所必需的底层软件核心技术
攻关大规模稀疏矩阵求解、高通量分布式算力调度以及亚纳米级物理建模,赋能工业产线全周期自主协同。
分布式几何计算加速引擎
打破传统 EDA 内存单机限制,自研图分区算法实现数万核集群近线性算力扩展,海量数据流导入验证提速 300% 以上。
亚微米级光学邻近效应求解
基于严格麦克斯韦方程组与传输交叉系数(TCC)核函数提速技术,对深紫外光刻衍射效应进行高保真数值模拟。
高并发产线 CIM/MES 调度
采用自研高性能工业内存数据库与消息总线,稳定支撑千万级晶圆批次(Lot)与晶圆载具(FOUP)在途毫秒级派工。
晶圆缺陷模式智能聚类诊断
集成图像视觉与微观几何特征分析模型,自动对划痕、环状、边缘聚集等复杂缺陷图谱分类,定位引发漂移的异常机台。
工业协议原生全栈兼容
完全适配国际半导体设备通信标准,覆盖 SECS-I、HSMS、GEM300、E84 搬送握手协议,实现设备无缝纳管。
全闭环参数敏感度分析
联通前道刻蚀沉积量测与后道 WAT/CP 测试参数,自动反向推导敏感工艺窗口,保障量产良率持续保持高位。
专为半导体芯片设计与晶圆制造打造的软件矩阵
模块化、微服务化的专业工具链,满足先进制程设计公司(Fabless)、晶圆代工厂(Foundry)与封装测试(IDM/OSAT)多重场景。
NanoVerify™ 物理验证与 DRC/LVS 套件
针对亚微米微纳尺度版图设计的并行校验系统,实现设计与晶圆代工厂工艺设计包(PDK)规则的一致性高精度校对。
- 支持多核分布式层次化版图分析
- 提供图形化即时定位修正建议
- 全面兼容 standard PDK 格式规范
FabFlow™ 晶圆制造执行与产线管控系统
专为 8 英寸与 12 英寸洁净室量产设计的高可用 CIM 平台,深度集成物料派工(RTD)、设备健康(FDC)及配方管理(RMS)。
- 99.999% 高可用集群热备架构
- 全厂 OHT/AGV 自动化物流联动控制
- 支持多工厂跨区域协同计划调度
YieldInsight™ 良率智能诊断与缺陷根因平台
打通光学检测(KLA)、电子束量测与最终探针测试数据,运用时空对齐与因果关联算法快速挖掘关键工序缺陷来源。
- 晶圆图谱智能去噪与缺陷聚类分析
- 工步变异多因子方差敏感度筛选
- 生成符合工规要求的全景良率报表
高可靠工规系统落地四阶实施流
兼顾产线生产连续性与微纳仿真精度,采用标准化、阶段式验证机制,确保零停机接入与平滑替代。
工况诊断与规则梳理
全面评估晶圆线工艺节点参数、设备接口通信能力及 PDK 设计规则,制定定制化集成拓扑图。
工业总线与工具链集成
部署私有化容器集群,打通 SECS/GEM 机台总线与设计数据网关,完成基础环境安全性鉴权与沙盒隔离。
工艺模型标定与并行双跑
导入历史晶圆量测实测数据与版图用例,开展 TCAD 及物理验证多轮对齐,双轨并跑验证数据一致性。
正式切轨与良率闭环爬坡
全面切换生产与验证主链路,启用毫秒级动态派工与实时良率报警策略,建立全天候工程技术兜底。
自研内核驱动的“数据-物理-执行”闭环体系
J9的本质不仅是离散的代码逻辑,而是集成电路微观量子物理、光学衍射与洁净制造工学规律的数字化映射。我们坚持从网格剖分、本构方程求解、工业总线微秒级并发等底层基础做起,打破上层黑盒约束,让芯片设计工程师与产线工艺专家掌握清晰可控的量产主导权。
预约技术专家交流主流晶圆产线与设计企业量产实践
实测数据检验真章,软件矩阵已在国内外多条 12 英寸晶圆生产线及主流高端芯片开发项目中稳健运行。
先进逻辑工艺节点良率快速爬坡与排程提效
该代工厂在扩产过程中面临换线频繁、缺陷排查滞后等难题。通过部署 FabFlow™ 制造管控与 YieldInsight™ 缺陷诊断软件,实现数百台刻蚀与薄膜沉积机台数据的实时采集与缺陷自动归因,大幅减少了批次废品率。
来自半导体产业工程一线的真实评价
来自 Fabless 架构师、晶圆厂工艺总监与良率工程师的实测验证与专业反馈。
“在 14nm 节点多层金属布线几何验证中,物理验证套件的分布式内存优化表现优异,避免了算力节点的非预期溢出崩溃,使得我们原本需要通宵跑完的 DRC 流程大幅缩短至 4 小时内。”
“这套 CIM 调度系统在 12 英寸整线上的落地超出预期。对于 SECS/GEM 协议的高效解析以及与 OHT 天车系统的微秒级握手,确保了高负荷量产下的设备顺畅流转,系统稳定性完全经受住了考验。”
“良率工程平台把离线探针测试与机台运行轨迹完美对应起来,以前遇到工艺波动需要开会排查数天,现在通过多因子关联分析能立刻锁定引发缺陷的特定反应室,非常切中痛点。”
前沿半导体制造计算与工艺软件专栏
追踪光刻建模、良率工程演进及半导体智能制造算法的前沿工业探讨。
先进制程中计算光刻(OPC)在异构计算平台的加速实践
探讨在大面积复杂图元环境下,利用 GPU-CPU 异构流水线进行光学衍射卷积计算的技术突破与功耗优化策略。
基于晶圆时空关联特征的缺陷根因反向推演模型解析
系统剖析如何从数十道光刻、刻蚀、清洗工序中,提取时空交叉特征并建立贝叶斯因果网络,提高良率调试效率。
半导体设备通信国际规范(SEMI E30/E37)协议高并发解析指南
面对现代 Fab 厂海量传感器数据涌入,如何在工业中台构建零拷贝协议解析栈,实现严苛响应时间下的连续作业。
严格遵循国际工规与全链路软硬件生态适配
全系软件符合国际半导体设备与材料协会(SEMI)规范,与主流计算架构及工业操作系统深度适配。
全面覆盖 SEMI E4 (SECS-I)、SEMI E5 (SECS-II)、SEMI E30 (GEM)、SEMI E37 (HSMS) 及 SEMI E84/E87 物料搬运与载具管理标准,确保与各类主流半导体前后道设备平滑通讯。
原生适配 GDSII Stream 格式、OASIS (SEMI P39) 高密度版图文件格式以及主流 PDK 规则定义标准,支持主流设计工具链无缝输入输出。
支持 x86_64、ARM 架构服务器集群,并完成统信 UOS、银河麒麟高级服务器操作系统等国产化运行环境的企业级兼容互认证。
SEMI E30 / GEM
设备通信与自动化控制
SEMI E37 / HSMS
高速 SECS 消息传输接口
SEMI E10 / RAM
设备可靠性可用性维保规范
SEMI P39 / OASIS
先进制程高密度版图流规范
SEMI E84 / PIO
晶圆载具自动搬运握手协议
ISO 27001 / IEC
晶圆工艺数据安全保密标准
J9部署与工程应用常见问答
解答关于系统授权许可、晶圆工艺数据私密性保障、软硬件配置基线与产线平滑切轨的关键技术关切。